光栅尺读数头
基于自主核心光编芯片与配套算法,结合深度优化的光机设计,为您提供高精度定位反馈的全链路解决方案。系统支持20μm栅距增量式光栅尺,兼容直线、圆弧及圆光栅等多种类型,通过实时自适应调节光强、增益、相位等参数,实现几乎无延迟精准测量,确保优异的动态性能和长期稳定运行。该系统可广泛应用于半导体制造、精密数控机床、激光加工、光学检测及自动化装配等领域,为各类高精度设备提供从传感、处理到集成的完整测量支持。
基于自主核心光编芯片与配套算法,结合深度优化的光机设计,为您提供高精度定位反馈的全链路解决方案。系统支持80μm栅距增量式光栅尺,兼容直线、圆弧及圆光栅等多种类型,通过实时自适应调节光强、增益、相位等参数,实现几乎无延迟精准测量,确保优异的动态性能和长期稳定运行。该系统可广泛应用于半导体制造、精密数控机床、激光加工、光学检测及自动化装配等领域,为各类高精度设备提供从传感、处理到集成的完整测量支持。
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产品型号
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产品手册
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产品类型
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分辨率
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栅距
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电子细分误差
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最高检测速度
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电源电压(V)
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消耗电流(mA)
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工作温度
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TVMDGH300P |
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光栅尺读数头 | 10nm | 80µm | ±50nm | 8m/s | DC5V±5% | ≤500mA | 0 ~ 70℃ |
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TVMDGH020P |
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光栅尺读数头 | 2.5nm | 20µm | ±20nm | 12m/s | DC5V±5% | ≤200 mA(无负载) | 0 ~ 70°C |
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TVMDGA102N |
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光栅尺读数头 | 10nm | 102.4µm | ±100nm | 4m/s | DC5V±5% | ≤500mA | 0 ~ 70℃ |